Besturing sputterinstallatie

Voor het opdampen van metaaloxides bij de fabricage van reed relais worden sputterinstallaties gebruikt. Van Mierlo heeft voor een dergelijke installatie een besturing ontworpen en gerealiseerd.

Het project had een tweeledig doel. Enerzijds moest de capaciteit van het bestaande park uitgebreid worden, anderzijds was een upgrade naar moderne techniek en automatisering van de systemen gewenst. Het project is in samenwerking met D&M Vacuüm Systemen uitgevoerd.

Het reverse engineeren van de bestaande opstellingen was een wezenlijk onderdeel van de opdracht. Het was niet altijd even duidelijk hoe en waarom de bestaande opstellingen werkten.

Bij de realisatie van de nieuwe opstelling was de installatietechniek een uitdaging. Bij het ontwerp en documentatie werd veel aandacht besteed aan de reproduceerbaarheid van de opstellingen.

De nieuwe opstelling werd voorzien van een volledig geautomatiseerde aansturing.